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025-58506506
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Products 酸性吸附剂
1) 酸性气体吸附剂吸附原理:吸附过程包含物理吸附和化学吸附。酸性气体吸附剂为复合型金属氧化物和金属氢氧化物,浸渍活性炭。2) 吸附过程包含物理吸附和化学吸附。3) 酸性气体吸附剂适用于半导体工厂蚀刻流程中卤族气体的吸附,也适用于储气库或气柜内该类气体事故应急情况下的废气吸附净化。4) 反应式如下:Cl2 + M(OH)2 ® MCl2 + H2O + 1/2O2 Cl2 + 2MO(OH) ® 2MOCl + H2O + 1/2O2 3Cl2 + M2O3 ® 2MCl3 + 3/2O22HCl + M(OH)2 ® MCl2 + 2H2O3HCl + MO(OH) ® MCl3 + 2H2O6HCl + M2O3 ® 2MCl3 + 3H2O2HF + M(OH)2 ® MF2 + 2H2O3HF + MO(OH) ® MF3 + 2H2O6HF + M2O3 ® 2MF3 + 3H2O5)酸性气体吸附剂基本性能:在气体流速0.1~1m/s情况下,对酸性气体的净化效率达到95%以上,0.3秒可以完成吸附和解毒。实验条件为5%的氯气、氯化氢或氟化氢,压力6.5mPa,每千克吸附剂对选型气体的吸附量约为130~170克。特种吸附剂参数吸附气体氯气(Cl2)TYL-TQ-1氯化氢HClTYL-TQ-1氟化氢HFTYL-TQ-1氨气NH3TYL-TQ-2磷烷H3PTYL-TQ-3砷烷H3AsTYL-TQ-3颗粒尺寸Ø3.0-3.53-15mmØ3.0-3.53-1...
类别说明



1) 酸性气体吸附剂吸附原理:吸附过程包含物理吸附和化学吸附。酸性气体吸附剂为复合型金属氧化物和金属氢氧化物,浸渍活性炭。

2) 吸附过程包含物理吸附和化学吸附。

3) 酸性气体吸附剂适用于半导体工厂蚀刻流程中卤族气体的吸附,也适用于储气库或气柜内该类气体事故应急情况下的废气吸附净化。

4) 反应式如下:

Cl2 + M(OH)2 ® MCl2 + H2O + 1/2O2 

Cl2 + 2MO(OH) ® 2MOCl + H2O + 1/2O2

3Cl2 + M2O3 ® 2MCl3 + 3/2O2

2HCl + M(OH)2 ® MCl2 + 2H2O

3HCl + MO(OH) ® MCl3 + 2H2O

6HCl + M2O3 ® 2MCl3 + 3H2O

2HF + M(OH)2 ® MF2 + 2H2O

3HF + MO(OH) ® MF3 + 2H2O

6HF + M2O3 ® 2MF3 + 3H2O

5)酸性气体吸附剂基本性能:

在气体流速0.1~1m/s情况下,对酸性气体的净化效率达到95%以上,0.3秒可以完成吸附和解毒。

实验条件为5%的氯气、氯化氢或氟化氢,压力6.5mPa,每千克吸附剂对选型气体的吸附量约为130~170克。

酸性吸附剂

特种吸附剂参数


吸附气体

氯气(Cl2)

TYL-TQ-1

氯化氢HCl

TYL-TQ-1

氟化氢HF

TYL-TQ-1

氨气NH3

TYL-TQ-2

磷烷H3P

TYL-TQ-3

砷烷H3As

TYL-TQ-3

颗粒尺寸

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

5-15mm

Ø3.0-3.5

5-15mm

固含量

85%-95%

85%-95%

85%-95%

95%-99%

98%

98%

堆积密度

0.70-0.80g/ml

0.70-0.80g/ml

0.70-0.80g/ml

0.90-0.95g/ml

0.85g/ml

0.88g/ml

体积吸附容量

35~45L/L

75~85L/L

45~55L/L

75~85 L/L

70~80L/L

55~65L/L

净化效率

≥80%

≥80%

≥80%

≥80%

≥80%

≥80%

 


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