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025-58506506
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Products 特种气体吸附
1) 剧毒气体吸附剂吸附原理:吸附过程包含物理吸附和化学吸附。剧毒气体吸附剂为复合型金属氧化物和金属氢氧化物。2) 剧毒气体吸附剂适用于半导体工厂离子植入流程中有毒气体的吸附,也适用于储气库或气柜内该类气体事故应急情况下的废气吸附净化。3) 吸附过程主要为化学吸附。4) 反应式如下:2PH3 + 3MO ® M2P + 3H2O2AsH3 + 3MO ® M2As + 3H2O5) 剧毒气体吸附剂基本性能:在气体流速0.1~1m/s情况下,对剧毒气体的净化效率达到90%以上,0.3秒可以完成吸附和解毒。实验条件为5%的磷烷、砷烷,每千克吸附剂对剧毒气体的吸附量约为100~210克。特种吸附剂参数 吸附气体氯气(Cl2)TYL-TQ-1氯化氢HClTYL-TQ-1氟化氢HFTYL-TQ-1氨气NH3TYL-TQ-2磷烷H3PTYL-TQ-3砷烷H3AsTYL-TQ-3颗粒尺寸Ø3.0-3.53-15mmØ3.0-3.53-15mmØ3.0-3.53-15mmØ3.0-3.53-15mmØ3.0-3.55-15mmØ3.0-3.55-15mm固含量85%-95%85%-95%85%-95%95%-99%98%98%堆积密度0.70-0.80g/ml0.70-0.80g/ml0.70-0.80g/ml0.90-0.95g/ml0.85g/ml0.88g/ml体积吸附容量35~45L/L75~85L/L45~55L/L75~85 L/L70~80L/L55~65L/L净化效率≥80%≥80%≥80%≥80%≥80%≥80%
参数:1.尺寸:¢1.5/¢3.02.吸附能力:≥99%3,酸气吸附剂,H2S吸附剂
参数:1.尺寸:¢1.5-3.02.吸附能力:≥95%3.物理吸附剂
参数:1.尺寸:¢0.9-¢1.52,物理吸附剂
参数:1.尺寸:¢10.02,H2S,SO2吸附剂3,吸附能力40L/L
参数:1.尺寸:3.0¢mm2.吸附能力:60LL3.砷烷磷烷吸附剂4,吸附能力磷烷90LL砷烷50LL
参数:1.尺寸:2.0¢-4.0¢mm2.吸附能力:60L/L3.磷烷砷烷硅烷吸附剂硅烷吸附能力12L/L,B2H6吸附能力25L/L,SI2H6吸附能力20L/LDCS气体吸附能力25L/L
参数:1.尺寸:10*10*10mm2.去水气、分散气体、油污等
参数:1.尺寸:3.0¢-5.0mm2.吸附能力:25L/L3.TEOS等吸附剂
参数:1.尺寸:¢3.02.吸附能力:≥99%3.酸性吸附剂,DCS,TCS,COS等辅助吸附剂
参数:1.尺寸:2.磷烷砷烷吸附能力120L/L硅烷吸附能力25L/LCO常温催化剂3.硅烷磷烷砷烷一氧化碳常温催化吸附剂
1) 易燃气体吸附剂吸附原理:吸附过程包含物理吸附和化学吸附。吸附剂为复合型金属氧化物和金属氢氧化物。2) 用于半导体工厂扩散流程中硅烷和二氯二氢硅气体的吸附,也适用于储气库或气柜内该类气体事故应急情况下的废气吸附净化。3) 吸附过程主要为化学吸附。4) 反应式如下:SiH4 + 2MOH ® M2Si + 2H2O + H2 SiH2Cl2 + M(OH)2 ® MCl2 + M2Si + 2H25)易燃气体吸附剂基本性能:在气体流速0.1~1m/s情况下,对剧毒气体的净化效率达到90%以上,0.3秒可以完成吸附和解毒。实验条件为1~5%的易燃气体,每千克吸附剂对剧毒气体的吸附量约为80~160克。特种吸附剂参数 吸附气体氯气(Cl2)TYL-TQ-1氯化氢HClTYL-TQ-1氟化氢HFTYL-TQ-1氨气NH3TYL-TQ-2磷烷H3PTYL-TQ-3砷烷H3AsTYL-TQ-3颗粒尺寸Ø3.0-3.53-15mmØ3.0-3.53-15mmØ3.0-3.53-15mmØ3.0-3.53-15mmØ3.0-3.55-15mmØ3.0-3.55-15mm固含量85%-95%85%-95%85%-95%95%-99%98%98%堆积密度0.70-0.80g/ml0.70-0.80g/ml0.70-0.80g/ml0.90-0.95g/ml0.85g/ml0.88g/ml体积吸附容量35~45L/L75~85L/L45~55L/L75~85 L/L70~80L/L55~65L/L净化效率≥80%≥80%≥80%≥80%≥80%≥80%
类别说明

1) 剧毒气体吸附剂吸附原理:吸附过程包含物理吸附和化学吸附。剧毒气体吸附剂为复合型金属氧化物和金属氢氧化物。

2) 剧毒气体吸附剂适用于半导体工厂离子植入流程中有毒气体的吸附,也适用于储气库或气柜内该类气体事故应急情况下的废气吸附净化。

3) 吸附过程主要为化学吸附。

4) 反应式如下:

2PH3 + 3MO ® M2P + 3H2O

2AsH3 + 3MO ® M2As + 3H2O

5) 剧毒气体吸附剂基本性能:

在气体流速0.1~1m/s情况下,对剧毒气体的净化效率达到90%以上,0.3秒可以完成吸附和解毒。

实验条件为5%的磷烷、砷烷,每千克吸附剂对剧毒气体的吸附量约为100~210克。

剧毒气体吸附剂

特种吸附剂参数

 

吸附气体

氯气(Cl2)

TYL-TQ-1

氯化氢HCl

TYL-TQ-1

氟化氢HF

TYL-TQ-1

氨气NH3

TYL-TQ-2

磷烷H3P

TYL-TQ-3

砷烷H3As

TYL-TQ-3

颗粒尺寸

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

5-15mm

Ø3.0-3.5

5-15mm

固含量

85%-95%

85%-95%

85%-95%

95%-99%

98%

98%

堆积密度

0.70-0.80g/ml

0.70-0.80g/ml

0.70-0.80g/ml

0.90-0.95g/ml

0.85g/ml

0.88g/ml

体积吸附容量

35~45L/L

75~85L/L

45~55L/L

75~85 L/L

70~80L/L

55~65L/L

净化效率

≥80%

≥80%

≥80%

≥80%

≥80%

≥80%


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