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025-58506506
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Products 特种气体吸附
1) 氨气吸附剂吸附原理:氨气吸附剂为复合型金属氧化物,含铁、硅、铝等元素。2) 吸附过程包含物理吸附和化学吸附。3) 适用于半导体工厂扩散流程中氨气和硅烷气体的吸附,也适用于应急事故情况下氨气的净化处理。4) 反应式如下:NH3+ MO → MO-NH3NH3+Fe2(SO4)3 →FeSO4 + (NH4)2SO4 + 6H2OxNH3+ M+2 → M(NH3)x+25) 氨气吸附剂基本性能:在气体流速0.1~1m/s情况下,对氨气的净化效率达到90%以上,0.3秒可以完成吸附和解毒。实验条件为10%的氨气,压力6.5mPa,每千克吸附剂对氨气的吸附量约为40克。特种吸附剂参数 吸附气体氯气(Cl2)TYL-TQ-1氯化氢HClTYL-TQ-1氟化氢HFTYL-TQ-1氨气NH3TYL-TQ-2磷烷H3PTYL-TQ-3砷烷H3AsTYL-TQ-3颗粒尺寸Ø3.0-3.53-15mmØ3.0-3.53-15mmØ3.0-3.53-15mmØ3.0-3.53-15mmØ3.0-3.55-15mmØ3.0-3.55-15mm固含量85%-95%85%-95%85%-95%95%-99%98%98%堆积密度0.70-0.80g/ml0.70-0.80g/ml0.70-0.80g/ml0.90-0.95g/ml0.85g/ml0.88g/ml体积吸附容量35~45L/L75~85L/L45~55L/L75~85 L/L70~80L/L55~65L/L净化效率≥80%≥80%≥80%≥80%≥80%≥80%
1) 酸性气体吸附剂吸附原理:吸附过程包含物理吸附和化学吸附。酸性气体吸附剂为复合型金属氧化物和金属氢氧化物,浸渍活性炭。2) 吸附过程包含物理吸附和化学吸附。3) 酸性气体吸附剂适用于半导体工厂蚀刻流程中卤族气体的吸附,也适用于储气库或气柜内该类气体事故应急情况下的废气吸附净化。4) 反应式如下:Cl2 + M(OH)2 ® MCl2 + H2O + 1/2O2 Cl2 + 2MO(OH) ® 2MOCl + H2O + 1/2O2 3Cl2 + M2O3 ® 2MCl3 + 3/2O22HCl + M(OH)2 ® MCl2 + 2H2O3HCl + MO(OH) ® MCl3 + 2H2O6HCl + M2O3 ® 2MCl3 + 3H2O2HF + M(OH)2 ® MF2 + 2H2O3HF + MO(OH) ® MF3 + 2H2O6HF + M2O3 ® 2MF3 + 3H2O5)酸性气体吸附剂基本性能:在气体流速0.1~1m/s情况下,对酸性气体的净化效率达到95%以上,0.3秒可以完成吸附和解毒。实验条件为5%的氯气、氯化氢或氟化氢,压力6.5mPa,每千克吸附剂对选型气体的吸附量约为130~170克。特种吸附剂参数吸附气体氯气(Cl2)TYL-TQ-1氯化氢HClTYL-TQ-1氟化氢HFTYL-TQ-1氨气NH3TYL-TQ-2磷烷H3PTYL-TQ-3砷烷H3AsTYL-TQ-3颗粒尺寸Ø3.0-3.53-15mmØ3.0-3.53-1...
类别说明

1) 剧毒气体吸附剂吸附原理:吸附过程包含物理吸附和化学吸附。剧毒气体吸附剂为复合型金属氧化物和金属氢氧化物。

2) 剧毒气体吸附剂适用于半导体工厂离子植入流程中有毒气体的吸附,也适用于储气库或气柜内该类气体事故应急情况下的废气吸附净化。

3) 吸附过程主要为化学吸附。

4) 反应式如下:

2PH3 + 3MO ® M2P + 3H2O

2AsH3 + 3MO ® M2As + 3H2O

5) 剧毒气体吸附剂基本性能:

在气体流速0.1~1m/s情况下,对剧毒气体的净化效率达到90%以上,0.3秒可以完成吸附和解毒。

实验条件为5%的磷烷、砷烷,每千克吸附剂对剧毒气体的吸附量约为100~210克。

剧毒气体吸附剂

特种吸附剂参数

 

吸附气体

氯气(Cl2)

TYL-TQ-1

氯化氢HCl

TYL-TQ-1

氟化氢HF

TYL-TQ-1

氨气NH3

TYL-TQ-2

磷烷H3P

TYL-TQ-3

砷烷H3As

TYL-TQ-3

颗粒尺寸

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

5-15mm

Ø3.0-3.5

5-15mm

固含量

85%-95%

85%-95%

85%-95%

95%-99%

98%

98%

堆积密度

0.70-0.80g/ml

0.70-0.80g/ml

0.70-0.80g/ml

0.90-0.95g/ml

0.85g/ml

0.88g/ml

体积吸附容量

35~45L/L

75~85L/L

45~55L/L

75~85 L/L

70~80L/L

55~65L/L

净化效率

≥80%

≥80%

≥80%

≥80%

≥80%

≥80%


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