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产品名称:

碱性/氨气吸附剂

产品名称: 碱性/氨气吸附剂
上市日期: 2018-10-17

1) 氨气吸附剂吸附原理:氨气吸附剂为复合型金属氧化物,含铁、硅、铝等元素。

2) 吸附过程包含物理吸附和化学吸附。

3) 适用于半导体工厂扩散流程中氨气和硅烷气体的吸附,也适用于应急事故情况下氨气的净化处理。

4) 反应式如下:

NH3+ MO → MO-NH3

NH3+Fe2(SO4)3 →FeSO4 + (NH4)2SO4 + 6H2O

xNH3+ M+2 → M(NH3)x+2

5) 氨气吸附剂基本性能:

在气体流速0.1~1m/s情况下,对氨气的净化效率达到90%以上,0.3秒可以完成吸附和解毒。

实验条件为10%的氨气,压力6.5mPa,每千克吸附剂对氨气的吸附量约为40克。

碱性/氨气吸附剂

特种吸附剂参数

 

吸附气体

氯气(Cl2)

TYL-TQ-1

氯化氢HCl

TYL-TQ-1

氟化氢HF

TYL-TQ-1

氨气NH3

TYL-TQ-2

磷烷H3P

TYL-TQ-3

砷烷H3As

TYL-TQ-3

颗粒尺寸

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

3-15mm

Ø3.0-3.5

5-15mm

Ø3.0-3.5

5-15mm

固含量

85%-95%

85%-95%

85%-95%

95%-99%

98%

98%

堆积密度

0.70-0.80g/ml

0.70-0.80g/ml

0.70-0.80g/ml

0.90-0.95g/ml

0.85g/ml

0.88g/ml

体积吸附容量

35~45L/L

75~85L/L

45~55L/L

75~85 L/L

70~80L/L

55~65L/L

净化效率

≥80%

≥80%

≥80%

≥80%

≥80%

≥80%

 


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产品名称: 碱性/氨气吸附剂
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1) 氨气吸附剂吸附原理:氨气吸附剂为复合型金属氧化物,含铁、硅、铝等元素。

2) 吸附过程包含物理吸附和化学吸附。

3) 适用于半导体工厂扩散流程中氨气和硅烷气体的吸附,也适用于应急事故情况下氨气的净化处理。

4) 反应式如下:

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5) 氨气吸附剂基本性能:

在气体流速0.1~1m/s情况下,对氨气的净化效率达到90%以上,0.3秒可以完成吸附和解毒。

实验条件为10%的氨气,压力6.5mPa,每千克吸附剂对氨气的吸附量约为40克。

碱性/氨气吸附剂

特种吸附剂参数

 

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TYL-TQ-1

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TYL-TQ-1

氨气NH3

TYL-TQ-2

磷烷H3P

TYL-TQ-3

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颗粒尺寸

Ø3.0-3.5

3-15mm

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3-15mm

Ø3.0-3.5

3-15mm

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3-15mm

Ø3.0-3.5

5-15mm

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固含量

85%-95%

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95%-99%

98%

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堆积密度

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0.70-0.80g/ml

0.90-0.95g/ml

0.85g/ml

0.88g/ml

体积吸附容量

35~45L/L

75~85L/L

45~55L/L

75~85 L/L

70~80L/L

55~65L/L

净化效率

≥80%

≥80%

≥80%

≥80%

≥80%

≥80%

 


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